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1. 最小可檢漏率：3×10^-13Pa?m³/s

2. 漏率顯示范圍：1×10^-2—1×10^-13Pa?m³/s

3. 啟動時間：≤3min

4. 響應時間：≤0.5s

5. 檢漏口的最高壓力：2000Pa

6. 極限壓強：5×10^-4Pa

7. 機械泵抽速：0.5L/s

8. 電源要求：220V，50Hz，單相，10A

9. 工作環境：5-35℃

10.相對濕度：≤80%

11.外形尺寸：560（W）×420（D）×320（H）

12.重量：42kg

三、主要配置

1. 進口分子泵

2. 進口機械泵

3. 內置標準漏孔

4. 美國AD放大器

5. 質譜專用模塊

6. 臺達液晶觸摸彩屏