ZXL-830D型是一款配置無油干泵的氦質譜檢漏儀。適用于對高清潔的真空設備進行檢漏。
1. 最小可檢漏率:5×10-13Pa·m3/s 2. 漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-13Pa·m3/s 3. 啟動時間:≤3min 4. 響應時間:≤1s 5. 檢漏口的最高壓力:2000Pa 6. 極限壓強:5×10-4Pa 7. 電源要求:220V,50Hz,單相,10A 8. 工作環境:5-35℃ 9. 相對濕度:≤80% 10. 外形尺寸:550(W)×450(D)×880(H) 11. 重量:65kg
1. 進口檢漏儀專用分子泵 2. 進口干泵 3. 配置標準漏孔 4. 美國AD放大器 5. 采用質譜專用模塊 6. 臺達觸摸彩屏
6. 臺達觸摸彩屏